Фоторези́сты - органические материалы, чувствительные к оптическому излучению видимой и УФ-области. Наиболее широко используются в микроэлектронике при создании интегральных схем и других устройств по методу планарной технологии.
* * *
ФОТОРЕЗИСТЫ - ФОТОРЕЗИ́СТЫ, органические материалы, чувствительные к оптическому излучению видимой и ультрафиолетовой области. Наиболее широко используются в микроэлектронике при создании искусственных спутников, запоминающих устройств и др. по методу планарной технологии для формирования заданного рельефного рисунка на поверхности полупроводника или диэлектрической основы перед ее легированием.